本发明提供一种超精密机床性能分析方法及装置、电子设备及存储介质，涉及机械加工技术领域，该方法包括：在加工目标工件过程中，每隔预设时长同步采集加工刀具上的切削力数据、n个运动轴的实际位移数据及加工程序中各运动轴的程序位移数据；n为正整数且n≥3；根据目标时刻下采集的目标运动轴的目标实际位移数据和目标程序位移数据，获得目标时刻下目标运动轴的运动轨迹偏差；获得目标时刻下采集的目标运动轴运动方向上的目标切削力的第一相关性数据和第二相关性数据；根据所有采集时刻下所有运动轴运动方向上切削力的第一相关性数据和第二相关数据，输出超精密机床的性能分析数据。本发明能够对切削力分布与多轴运动轨迹分布进行同步评价。