[0001] 本公开涉及基板搬运机器人。

[0002] 以往，公知有具备机器人臂的基板搬运机器人。这样的基板搬运机器人例如公开在日本专利第6271266号公报中。

[0003] 在上述日本专利第6271266号公报中公开有用于搬运玻璃基板等搬运对象物的水平多关节机器人。该机器人具备臂、和与臂的末端侧可转动地连结的机械手。臂与机械手的连结部成为关节部。在关节部配置有用于使机械手转动的减速器和轴承。该轴承是交叉滚柱轴承。

[0004] 专利文献1：日本专利第6271266号公报

[0005] 然而，在上述专利第6271266号公报所记载的机器人中，由于轴承是交叉滚柱轴承，因此有时存在由圆筒状的滚子构成的滚柱的偏差。在该情况下，若进行机器人的反复动作，则滚柱的偏差按照每个反复动作而变动，并且由滚柱的偏差的变动引起轴承的摩擦变动。另外，若轴承的摩擦变动，则由轴承的摩擦的变动引起关节部的旋转量变动，因此由关节部的旋转量的变动引起机器人的反复动作的位置变动。因此，在将交叉滚柱轴承用于轴承的情况下，存在难以提高反复位置定位精度的问题点。

[0017] 以下，基于附图对将本公开具体化的实施方式进行说明。

[0018] (基板搬运机器人的结构)

[0019] 参照图1～图4，对第1实施方式所涉及的基板搬运机器人100的结构进行说明。如图1所示，基板搬运机器人100是搬运基板W的机器人。基板搬运机器人100配置于无尘室200。另外，基板搬运机器人100配置于真空环境下。具体而言，基板搬运机器人100配置于真空室201内。

[0020] 基板搬运机器人100具备机器人臂10、配置于机器人臂10的末端的基板保持机械手20、以及基座部30。基板保持机械手20保持基板W。基板W例如是半导体晶圆。在处理室202中对半导体晶圆进行规定的处理。基板搬运机器人100进行将半导体晶圆向处理室202反复搬运的反复动作。

[0021] 另外，基板保持机械手20包括第1基板保持机械手21、和配置于第1基板保持机械手21的上方并与第1基板保持机械手21独立地进行动作的第2基板保持机械手22。

[0022] 机器人臂10是水平多关节型的机器人臂。机器人臂10包括第1臂部11和第2臂部12。另外，机器人臂10包括肩关节JT1、肘关节JT2以及腕关节JT3。第1臂部11的一个端部经由肩关节JT1与基座部30连接。第2臂部12的一个端部经由肘关节JT2与第1臂部11的另一端部连接。在第2臂部12的另一端部，经由腕关节JT3连接有第1基板保持机械手21和第2基板保持机械手22。此外，肩关节JT1是第1关节的一个例子。另外，肘关节JT2是第2关节和臂部关节的一个例子。

[0023] 肩关节JT1是为了驱动第1臂部11而设置的。具体而言，肩关节JT1使第1臂部11相对于基座部30绕着在上下方向上延伸的第1旋转轴线A1旋转。肘关节JT2是为了驱动第2臂部12而设置的。具体而言，肘关节JT2使第2臂部12相对于第1臂部11绕着在上下方向上延伸的第2旋转轴线A2旋转。腕关节JT3是为了驱动第1基板保持机械手21和第2基板保持机械手22而设置的。具体而言，腕关节JT3使第1基板保持机械手21和第2基板保持机械手22相对于第2臂部12绕着在上下方向上延伸的第3旋转轴线A3旋转。此外，腕关节JT3能够使第1基板保持机械手21和第2基板保持机械手22独立地旋转。此外，对于肩关节JT1、肘关节JT2以及腕关节JT3的详细情况，进行后述。

[0024] 如图2所示，基座部30包括用于使机器人臂10升降的升降机构31。升降机构31具有马达311、带轮机构312、滚珠丝杠机构313、以及扭矩管314。马达311是升降的驱动源。马达311经由带轮机构312而与滚珠丝杠机构313连接。滚珠丝杠机构313与扭矩管314连接，借助来自马达311的驱动力，使扭矩管314升降。扭矩管314与机器人臂10的第1臂部11的一个端部连接，借助来自滚珠丝杠机构313的驱动力，经由第1臂部11使机器人臂10升降。

[0025] (腕关节)

[0026] 这里，在第1实施方式中，如图2和图3所示，腕关节JT3具有：第1轴承42，将使第1基板保持机械手21转动的第1转动轴41支承为能够转动；和第2轴承44，将使第2基板保持机械手22转动的第2转动轴43支承为能够转动。第1轴承42和第2轴承44是球轴承。具体而言，第1轴承42和第2轴承44是角接触球轴承，各设置有两个。第1轴承42和第2轴承44的各轴承具有作为滚动体的滚珠、保持滚珠的保持器、外圈以及内圈。通过将滚珠保持于保持器，从而无偏差地配置滚珠。

[0027] 另外，在第1实施方式中，第2转动轴43配置于第1转动轴41的径向内侧，比第1转动轴41向上方延伸。两个第2轴承44分别配置于第2转动轴43的上部和下部。两个第2轴承44配置为在作为高度方向的Z方向上分离。两个第2轴承44中的上侧的第2轴承44承受轴向一方的轴向载荷，下侧的第2轴承44承受轴向另一方的轴向载荷。另外，上侧的第2轴承44在径向上配置于第1基板保持机械手21的壳体部211与第2转动轴43之间。另外，下侧的第2轴承44在径向上配置于第1转动轴41与第2转动轴43之间。

[0028] 另外，两个第1轴承42在两个第2轴承44之间配置于第1转动轴41。两个第1轴承42配置为在作为高度方向的Z方向上邻接。另外，两个第1轴承42中的上侧的第1轴承42承受轴向一方的轴向载荷，下侧的第1轴承42承受轴向另一方的轴向载荷。另外，两个第1轴承42在径向上配置于第2臂部12的壳体部121与第1转动轴41之间。

[0029] 另外，在第1实施方式中，配置于第2转动轴43的下部的第2轴承44的尺寸小于配置于第2转动轴43的上部的第2轴承44的尺寸。具体而言，配置于第2转动轴43的下部的第2轴承44的高度方向和径向的尺寸，小于配置于第2转动轴43的上部的第2轴承44的高度方向和径向的尺寸。另外，第2转动轴43的供上侧的第2轴承44配置的部分形成为直径比供下侧的第2轴承44配置的部分大。具体而言，第2转动轴43的配置于比第1转动轴41靠上方的位置的部分形成为，直径比在径向上与第1转动轴41重叠的部分大。此外，两个第1轴承42的尺寸相同。

[0030] 另外，在第1实施方式中，在腕关节JT3设置有机械手驱动机构50。机械手驱动机构50和第1轴承42配置为在作为水平方向的Y方向上重叠。具体而言，机械手驱动机构50和两个第1轴承42中的下侧的第1轴承42配置为，在作为水平方向的Y方向上重叠。其中，Y方向也是第2臂部12的长度方向。

[0031] 机械手驱动机构50以与第1基板保持机械手21及第2基板保持机械手22对应的方式设置有两个。此外，在图2和图3中，为了方便说明，对于两个机械手驱动机构50中的一方，示出整体，对于两个机械手驱动机构50中的另一方，仅示出后述的齿轮521的一部分。两个机械手驱动机构50除了驱动对象的机械手不同这一点之外，基本上具有相同的结构。因此，对两个机械手驱动机构50中的一方详细地进行说明。

[0032] 机械手驱动机构50包括马达51和动力传递部52。马达51是用于驱动第2基板保持机械手22的驱动源。动力传递部52将来自马达51的驱动力传递给第2转动轴43。动力传递部52具有包括齿轮521在内的多个齿轮。齿轮521的输出侧和与第2转动轴43同轴地配置的齿轮53连接。齿轮53以与第2转动轴43一体地旋转的方式紧固固定于第2转动轴43。若齿轮53旋转，则第2转动轴43转动。

[0033] 此外，在另一机械手驱动机构50中，齿轮521的输出侧和与第1转动轴41的下部一体地形成的齿轮部411连接。若齿轮部411旋转，则第1转动轴41转动。

[0034] 另外，对于第2臂部12而言，配置于机械手驱动机构50和腕关节JT3的下方的壳体部122形成为薄壁部。由此，能够将机械手驱动机构50和腕关节JT3向下方错开配置，因此能够将第1基板保持机械手21和第2基板保持机械手22向下方错开配置。其结果是，能够抑制基板搬运机器人100在高度方向上大型化。第2臂部12具有壳体部122、和与壳体部122连接并配置于比壳体部122靠第1臂部11侧的位置的壳体部123。壳体部122形成为在作为高度方向的Z方向上厚度小于壳体部123。

[0035] (肩关节和肘关节)

[0036] 另外，在第1实施方式中，如图2和图4所示，肩关节JT1具有将使第1臂部11转动的第3转动轴61支承为能够转动的第3轴承62。肘关节JT2具有将使第2臂部12转动的第4转动轴71支承为能够转动的第4轴承72。第3轴承62和第4轴承72是球轴承。具体而言，第3轴承62和第4轴承72是角接触球轴承，各设置有两个。第3轴承62和第4轴承72的各轴承具有作为滚动体的滚珠、保持滚珠的保持器、外圈以及内圈。通过将滚珠保持于保持器，从而无偏差地配置滚珠。此外，第4转动轴71是臂部转动轴的一个例子。另外，第4轴承72是臂部转动轴轴承的一个例子。

[0037] 另外，两个第3轴承62配置于第3转动轴61。两个第3轴承62配置为在作为高度方向的Z方向上邻接。另外，两个第3轴承62中的上侧的第3轴承62承受轴向一方的轴向载荷，下侧的第3轴承62承受轴向另一方的轴向载荷。另外，两个第3轴承62在径向上配置于第1臂部11的壳体部111与第3转动轴61之间。另外，两个第3轴承62的尺寸相同。

[0038] 另外，在第1实施方式中，第3轴承62配置为至少一部分比第1臂部11的在作为水平方向的Y方向上延伸的部分112向下方突出。具体而言，配置为两个第3轴承62中的上侧的第3轴承62的一部分、和下侧的第3轴承62整体比部分112向下方突出。另外，第3转动轴61也配置为从在径向上与第3轴承62重叠的部分起的下侧的部分比部分112向下方突出。部分112是第1臂部11的下侧的壳体部。其中，Y方向也是第1臂部11的长度方向。

[0039] 另外，两个第4轴承72配置于第4转动轴71。两个第4轴承72配置为在作为高度方向的Z方向上邻接。另外，两个第4轴承72中的上侧的第4轴承72承受轴向一方的轴向载荷，下侧的第4轴承72承受轴向另一方的轴向载荷。另外，两个第4轴承72在径向上配置于第1臂部11的壳体部113与第4转动轴71之间。另外，两个第4轴承72的尺寸相同。

[0040] 另外，在第1实施方式中，第4轴承72配置为在作为高度方向的Z方向上跨在第1臂部11和第2臂部12。即，第4轴承72配置为在作为水平方向的Y方向上与第1臂部11及第2臂部12重叠。另外，在肘关节JT2，以第2臂部12从上方和侧方覆盖第1臂部11的一部分的方式连接第1臂部11和第2臂部12。具体而言，第2臂部12具有从上方和侧方覆盖向上方突出的壳体部113的凹部124。凹部124向上方凹陷。另外，对于凹部124而言，在作为高度方向的Z方向上延伸的侧壁部配置为，在作为水平方向的Y方向上与壳体部113邻接。

[0041] 另外，在肩关节JT1设置有第1臂部驱动机构80。第1臂部驱动机构80包括马达81和动力传递部82。马达81是用于驱动第1臂部11的驱动源。动力传递部82将来自马达81的驱动力传递给第3转动轴61。动力传递部82具有包括齿轮821在内的多个齿轮。齿轮821配置为与第3转动轴61同轴，并且以与第3转动轴61一体地旋转的方式紧固固定于第3转动轴61。若齿轮821旋转，则第3转动轴61转动。

[0042] 另外，在肘关节JT2设置有第2臂部驱动机构90。第2臂部驱动机构90包括马达91和动力传递部92。马达91是用于驱动第2臂部12的驱动源。动力传递部92将来自马达91的驱动力传递给第4转动轴71。动力传递部92具有包括齿轮921在内的多个齿轮。齿轮921配置为与第4转动轴71同轴，并且以与第4转动轴71一体地旋转的方式紧固固定于第4转动轴71。若齿轮921旋转，则第4转动轴71转动。

[0043] [第1实施方式的效果]

[0044] 在第1实施方式中，如上述那样，基板搬运机器人100具备水平多关节型的机器人臂10、和配置于机器人臂10的末端的基板保持机械手20，基板保持机械手20包括第1基板保持机械手21、和配置于第1基板保持机械手21的上方并与第1基板保持机械手21独立地进行动作的第2基板保持机械手22，机器人臂10包括用于驱动第1基板保持机械手21和第2基板保持机械手22的腕关节JT3，腕关节JT3具有将使第1基板保持机械手21转动的第1转动轴41支承为能够转动的第1轴承42、和将使第2基板保持机械手22转动的第2转动轴43支承为能够转动的第2轴承44，第1轴承42和第2轴承44是球轴承。

[0045] 根据上述结构，与作为第1轴承42和第2轴承44而使用交叉滚柱轴承的情况不同，作为滚动体能够使用球状的滚珠，而不使用由圆筒状的滚子构成的滚柱，因此能够避免由滚柱的偏差的变动引起轴承的摩擦的变动和腕关节JT3的旋转量的变动的产生。其结果是，能够抑制基板搬运机器人100的反复动作的位置产生变动，因此能够提高反复位置定位精度。

[0046] 另外，在第1实施方式中，如上述那样，基板搬运机器人100具备水平多关节型的机器人臂10、和配置于机器人臂10的末端的基板保持机械手20，机器人臂10包括第1臂部11、一个端部与第1臂部11连接并且在另一端部连接基板保持机械手20的第2臂部12、以及用于驱动第2臂部12的肘关节JT2，肘关节JT2具有将使第2臂部12转动的第4转动轴71支承为能够转动的第4轴承72，第4轴承72配置为在高度方向上跨在第1臂部11和第2臂部12。

[0047] 根据上述结构，与将第4转动轴71支承件配置于第1臂部11或者第2臂部12的情况不同，在第1臂部11或者第2臂部12无需收纳第4轴承72整体的程度的高度，因此能够抑制第1臂部11或者第2臂部12在高度方向上大型化。其结果是，能够抑制基板搬运机器人100在高度方向上大型化。此外，在使用与交叉滚柱轴承相比高度方向的厚度容易变大的球轴承的情况下，能够抑制基板搬运机器人100在高度方向上大型化这一效果特别地有效。

[0048] 另外，在第1实施方式中，如上述那样，第1轴承42和第2轴承44是角接触球轴承，且各设置有两个。由此，通过两个角接触球轴承，能够适当地承受轴向的两侧的轴向载荷，因此能够适当地承受轴向的两侧的轴向载荷，并且能够提高反复位置定位精度。

[0049] 另外，在第1实施方式中，如上述那样，第2转动轴43配置于第1转动轴41的径向内侧，且比第1转动轴41向上方延伸，两个第2轴承44分别配置于第2转动轴43的上部和下部，两个第1轴承42在两个第2轴承44之间配置于第1转动轴41。由此，通过两个第2轴承44，能够容易地支承第2转动轴43，并且通过两个第1轴承42，能够容易地支承第1转动轴41。

[0050] 另外，在第1实施方式中，如上述那样，配置于第2转动轴43的下部的第2轴承44的高度方向的尺寸小于配置于第2转动轴43的上部的第2轴承44的高度方向的尺寸。由此，即便在为了设置两个第1轴承42和两个第2轴承44而基板搬运机器人100容易在高度方向上大型化的情况下，也能够尽量抑制基板搬运机器人100在高度方向上大型化。

[0051] 另外，在第1实施方式中，如上述那样，在腕关节JT3设置有机械手驱动机构50，机械手驱动机构50和第1轴承42配置为在水平方向上重叠。由此，与机械手驱动机构50和第1轴承42配置为在水平方向上不重叠的情况相比，能够抑制机器人臂10在高度方向上大型化。其结果是，能够抑制基板搬运机器人100在高度方向上大型化。此外，在使用与交叉滚柱轴承相比高度方向的厚度容易变大的球轴承的情况下，抑制基板搬运机器人100在高度方向上大型化这一效果特别地有效。

[0052] 另外，在第1实施方式中，如上述那样，机器人臂10还包括第1臂部11、一个端部与第1臂部11连接并且在另一端部连接第1基板保持机械手21和第2基板保持机械手22的第2臂部12、用于驱动第1臂部11的肩关节JT1、以及用于驱动第2臂部12的肘关节JT2，肩关节JT1具有将使第1臂部11转动的第3转动轴61支承为能够转动的第3轴承62，肘关节JT2具有将使第2臂部12转动的第4转动轴71支承为能够转动的第4轴承72，第1轴承42、第2轴承44、第3轴承62以及第4轴承72是球轴承。由此，不仅在腕关节JT3，在肩关节JT1和肘关节JT2，也能够避免由滚柱的偏差的变动引起轴承的摩擦的变动、和肩关节JT1及肘关节JT2的各关节的旋转量的变动的产生。其结果是，能够进一步抑制基板搬运机器人100的反复动作的位置产生变动，因此能够进一步提高反复位置定位精度。

[0053] 另外，在第1实施方式中，如上述那样，第1轴承42、第2轴承44、第3轴承62以及第4轴承72是角接触球轴承。由此，能够由适合于高精度动作的角接触球轴承来构成第1轴承42、第2轴承44、第3轴承62以及第4轴承72。

[0054] 另外，在第1实施方式中，如上述那样，第3轴承62配置为至少一部分比第1臂部11的在水平方向上延伸的部分向下方突出。由此，与第3轴承62配置于比第1臂部11的在水平方向上延伸的部分靠上方的位置的情况相比，能够抑制第1臂部11在高度方向上大型化。其结果是，能够抑制基板搬运机器人100在高度方向上大型化。

[0055] 另外，在第1实施方式中，如上述那样，在肘关节JT2，以第2臂部12从上方和侧方覆盖第1臂部11的一部分的方式连接第1臂部11和第2臂部12。由此，能够以在高度方向上跨在第1臂部11和第2臂部12的方式容易地配置第4轴承72，因此能够容易地抑制第1臂部11或者第2臂部12在高度方向上大型化。另外，由于第2臂部12从上方和侧方覆盖第1臂部11的一部分，因此通过第2臂部12，能够提高与第1臂部11连接的连接部分的刚性。这些的结果是，通过第2臂部12，能够提高与第1臂部11连接的连接部分的刚性，并且能够容易地抑制第1臂部11或者第2臂部12在高度方向上大型化。

[0056] [第2实施方式]

[0057] 参照图5，对第2实施方式所涉及的基板搬运机器人300进行说明。其中，对于与上述第1实施方式相同的结构，标注相同的附图标记并省略详细的说明。

[0058] 如图5所示，第2实施方式所涉及的基板搬运机器人300的腕关节JT3代替上述第1实施方式的第1轴承42和第2轴承44，而具有将使第1基板保持机械手21转动的第1转动轴41支承为能够转动的第1轴承242、和将使第2基板保持机械手22转动的第2转动轴43支承为能够转动的第2轴承244。第1轴承242和第2轴承244是球轴承。具体而言，第1轴承242是深沟球轴承，设置有两个。第2轴承244是深沟球轴承，设置有3个。第1轴承242和第2轴承244的各轴承具有作为滚动体的滚珠、保持滚珠的保持器、外圈以及内圈。通过将滚珠保持于保持器，从而无偏差地配置滚珠。

[0059] 3个第2轴承244中的两个配置于第2转动轴43的上侧，剩余的一个配置于下侧。3个第2轴承244配置为在作为高度方向的Z方向上分离。另外，上侧的两个第2轴承244在径向上配置于第1基板保持机械手21的壳体部211与第2转动轴43之间。另外，下侧的一个第2轴承244在径向上配置于第1转动轴41与第2转动轴43之间。

[0060] 另外，两个第1轴承242在两个第2轴承244之间配置于第1转动轴41。两个第1轴承242配置为在作为高度方向的Z方向上相邻。另外，两个第1轴承242在径向上配置于第2臂部
12的壳体部121与第1转动轴41之间。

[0061] 这里，在第2实施方式中，3个第2轴承244中的两个第2轴承244配置于将第1基板保持机械手21内的机械手空间S1与机器人臂10的第2臂部12内的臂空间S2连接的贯通孔221的下方，并且在贯通孔221的下方被预压。另外，3个第2轴承244中的剩余的一个第2轴承244还配置于贯通孔221的上方。此外，为了方便说明，以下，将贯通孔221的下方的两个第2轴承244中的上侧的第2轴承244称为第2轴承244a，并将下侧的第2轴承244称为第2轴承244b。

[0062] 通过第2转动轴43的大径部43a，对第2轴承244a向轴向一方预压。在第2转动轴43的大径部43a设置有将第2轴承244a向轴向一方按压的预压部43b。预压部43b是向下方突出的突起。通过预压部43b向下方按压第2轴承244a，由此对其预压。其中，第2轴承244a也能够称为预压用轴承。

[0063] 通过齿轮53，对第2轴承244b向轴向另一方预压。在齿轮53设置有将第2轴承244b向轴向另一方按压的预压部53a。预压部53a是向上方突出的突起。通过预压部53a向上方按压第2轴承244b，由此对其预压。此外，在图5中，为了方便说明，仅示出了一处第2轴承244a和第2轴承244b的预压位置。

[0064] 以在轴向上相互对置的方式对第2轴承244a和第2轴承244b预压。

[0065] 贯通孔221是为了配置第1基板保持机械手21的传感器配线等配线而设置的。贯通孔221与设置于第2转动轴43的贯通孔222连接。贯通孔221经由贯通孔222将机械手空间S1与臂空间S2连接。贯通孔221形成为在水平方向上从第1基板保持机械手21延伸至第2转动轴43的贯通孔222。贯通孔222形成为在轴向上延伸。第1基板保持机械手21的配线经由贯通孔221和贯通孔222从机械手空间S1配置至臂空间S2。

[0066] 此外，第2实施方式的其他的结构与上述第1实施方式相同。

[0067] [第2实施方式的效果]

[0068] 在第2实施方式中，能够获得以下那样的效果。

[0069] 在第2实施方式中，如上述那样，第1轴承242和第2轴承244是球轴承。由此，与上述第1实施方式相同，能够提高反复位置定位精度。

[0070] 另外，在第2实施方式中，如上述那样，两个第2轴承244a、244b配置于将第1基板保持机械手21内的机械手空间S1与机器人臂10内的臂空间S2连接的贯通孔221的下方，并且在贯通孔221的下方被预压。由此，与两个第2轴承244a、244b夹着贯通孔221被预压的情况不同，能够避免由预压形成的负荷施加于贯通孔221，并且能够避免由预压通过贯通孔221逸散引起施加于轴承的预压变小。

[0071] 另外，在第2实施方式中，如上述那样，第2轴承244还配置于贯通孔221的上方。由此，通过贯通孔221的上方的第2轴承244和贯通孔221的下方的两个第2轴承244，能够将第2转动轴43可靠地支承为能够转动。

[0072] 此外，第2实施方式的其他效果与上述第1实施方式相同。

[0073] [变形例]

[0074] 此外，本次公开的实施方式全部的点应被认为是例示，而不是对本发明进行的限制。本公开的范围并非由上述的实施方式的说明限定，而是由权利请求范围表示，还包括与权利请求范围等同的意思以及在其范围内的全部变更(变形例)。

[0075] 例如，在上述第1和第2实施方式中，示出了基板搬运机器人具备两个基板保持机械手的例子，但是本公开并不局限于此。基板搬运机器人也可以具备一个或者3个以上的基板保持机械手。

[0076] 另外，在上述第1实施方式中，示出了第1轴承和第2轴承是角接触球轴承的例子，在上述第2实施方式中，示出了第1轴承和第2轴承是深沟球轴承的例子，但是本公开并不局限于此。第1轴承和第2轴承也可以是除角接触球轴承和深沟球轴承以外的球轴承。

[0077] 另外，在上述第1和第2实施方式中，示出了第3轴承和第4轴承是角接触球轴承的例子，但是本公开并不局限于此。第3轴承和第4轴承也可以是除角接触球轴承以外的深沟球轴承等球轴承。另外，无需第1轴承、第2轴承、第3轴承以及第4轴承全部是相同种类的球轴承，也可以是第1轴承、第2轴承、第3轴承以及第4轴承中的一部分是不同种类的球轴承。另外，第3轴承和第4轴承也可以是交叉滚柱轴承等。

[0078] 另外，在上述第1实施方式中，示出了配置于第2转动轴的下部的第2轴承的高度方向的尺寸小于配置于第2转动轴的上部的第2轴承的高度方向的尺寸的例子，但是本公开并不局限于此。配置于第2转动轴的上部的第2轴承的高度方向的尺寸也可以小于配置于第2转动轴的下部的第2轴承的高度方向的尺寸。另外，两个第2轴承的尺寸也可以相同。

[0079] 另外，在上述第1和第2实施方式中，示出了机械手驱动机构和第2轴承配置为在水平方向上重叠的例子，但是本公开并不局限于此。机械手驱动机构和第2轴承也可以不配置为在水平方向上重叠。

[0080] 另外，在上述第1和第2实施方式中，示出了机器人臂包括两个臂部的例子，但是本公开并不局限于此。机器人臂也可以包括3个以上的臂部。

[0081] 另外，在上述第1和第2实施方式中，示出了第4轴承配置为在高度方向上跨在第1臂部和第2臂部的例子，但是本公开并不局限于此。第4轴承也可以整体配置于第1臂部或者第2臂部。

[0082] 另外，在上述第1和第2实施方式中，示出了第3轴承配置为一部分比第1臂部的在水平方向上延伸的部分向下方突出的例子，但是本公开并不局限于此。第3轴承也可以配置为整体比第1臂部的在水平方向上延伸的部分向下方突出。另外，第3轴承也可以不配置为整体比第1臂部的在水平方向上延伸的部分向下方突出。

[0083] 另外，在上述第1和第2实施方式中，示出了基板搬运机器人是配置于真空环境下的真空机器人的例子，但是本公开并不局限于此。基板搬运机器人也可以是配置于大气环境下的大气机器人。

[0084] 另外，在上述第2实施方式中，示出了两个第2轴承配置于贯通孔的下方并且一个第2轴承配置于贯通孔的上方的例子，但是本公开并不局限于此。例如，也可以构成为：不在贯通孔的上方配置第2轴承，而是将两个第2轴承配置于贯通孔的下方并进行预压。

[0085] 附图标记说明

[0086] 10…机器人臂；11…第1臂部；12…第2臂部；20…基板保持机械手；21…第1基板保持机械手；22…第2基板保持机械手；41…第1转动轴；42、242…第1轴承；43…第2转动轴；44、244、244a、244b…第2轴承；50…机械手驱动机构；61…第3转动轴；62…第3轴承；71…第
4转动轴(臂部转动轴)；72…第4轴承(臂部转动轴轴承)；100、300…基板搬运机器人；112…第1臂部的在水平方向上延伸的部分；221…贯通孔；JT1…肩关节(第1关节)；JT2…肘关节(第2关节、臂部关节)；JT3…腕关节；S1…机械手空间；S2…臂空间。