用于低温环境的低热导率支撑系统 背景技术 [0001] 本公开涉及低温环境，并且更具体地，涉及促进低温环境中的低热导率支撑系统的技术。 [0002] 低温恒温器可以将放置在位于低温恒温器内的样品安装表面上的样品或器件维持在接近绝对零度的温度，以促进在低温条件下评估此类样品或器件。低温恒温器通常利用五个热级来提供这种低温，五个热级被机械地耦合到包围五个热级的外部真空室的室温板。低温恒温器的五个热级包括热分布，其中每个后续热级具有比前一热级处存在的温度逐渐更低的温度。 [0003] 低温恒温器通常实施支撑系统，支撑系统利用支撑杆将热级机械地耦合到外部真空室的室温板且维持相邻热级之间的空间隔离。这种支撑杆可提供热传导路径，该热传导路径促进热量从较高温度热级传播到较低温度热级。存在各种技术来断开热传导路径以减轻热量从较高温度热级到较低温度热级的传播。例如，一些技术涉及将孔引入到支撑杆中以断开由支撑杆提供的热传导路径。虽然这些技术可促进减轻热量从较高温度热级到较低温度热级的传播，但将孔引入到支撑杆中可降低支撑杆的承载能力。因此，这样的技术可能限制低温恒温器的可扩展性。 发明内容 [0004] 以下呈现概述以提供对本发明的一个或多个实施例的基本理解。本概述并不旨在标识关键或重要的元素，或描绘特定实施例的任何范围或权利要求的任何范围。其唯一的目的是以简化的形式呈现概念，作为稍后呈现的更详细描述的序言。在本文描述的一个或多个实施例中，描述了促进低温环境中的低热导率支撑系统的系统、设备和/或方法。 [0005] 根据一个实施例，一种低温恒温器可包括低温恒温器，所述低温恒温器可以包括支撑杆和垫圈。所述支撑杆可以耦合所述低温恒温器的第一热级和第二热级。所述垫圈可以介于所述支撑杆与所述第一热级之间。所述垫圈可以将所述支撑杆与所述第一热级热隔离。这种低温恒温器的一个方面在于，该低温恒温器能够促进低温环境中的低热导率支撑系统。 [0006] 在一个实施例中，所述支撑杆的螺纹内壁可以经由所述第二热级容纳附接机构的螺纹轴，以将所述支撑杆耦合到所述第二热级。在一个实施例中，聚酰亚胺套筒可以介于所述附接机构的所述螺纹轴与所述支撑杆的所述螺纹内壁之间。这种低温恒温器的一个方面在于，该低温恒温器能够通过确保附接机构保持在支撑杆的螺纹内壁内的中心位置而促进维持支撑杆与第二热级之间的耦合的完整性。 [0007] 根据另一个实施例，一种低温恒温器支撑系统可包括张力支撑杆和垫圈。所述张力支撑杆可以耦合低温恒温器的第一热级和第二热级。所述第一热级和所述第二热级可以被耦合至外部真空室的顶板。所述垫圈可以介于所述张力支撑杆与所述第二热级之间。所述垫圈可以将所述张力支撑杆与所述第二热级热隔离。这种低温恒温器支撑系统的一个方面在于，该系统能够促进低温环境中的低热导率支撑系统。 [0008] 在一个实施例中，所述垫圈可以包括第一占用面积并且被容纳在形成于所述第二热级中的凹部中，所述凹部减小所述第二热级在所述凹部的第二占用面积内的厚度，所述第二占用面积大于所述第一占用面积。这种低温恒温器支撑系统的一个方面在于，当第二热级的几何形状由于热膨胀/收缩而变化时，该系统能够促进保持张力支撑杆的结构完整性。 [0009] 根据另一个实施例，一种低温恒温器支撑系统可以包括压缩支撑杆和垫圈。所述压缩支撑杆可以耦合低温恒温器的第一热级和第二热级。所述第一热级和所述第二热级可以被耦合至外部真空室的底板。所述垫圈可以介于所述压缩支撑杆与所述第一热级之间。 所述垫圈可以将所述压缩支撑杆与所述第一热级热隔离。这种低温恒温器支撑系统的一个方面在于，该系统能够促进低温环境中的低热导率支撑系统。 [0010] 在一个实施例中，所述压缩支撑杆将在所述第二热级上附带的机械负载的至少一个子集传递到所述底板。这种低温恒温器支撑系统的一个方面在于，该系统能够促进管理低温恒温器内的重量/负载分布。 附图说明 [0011] 图1示出了根据本文描述的一个或多个实施例的示例非限制性低温恒温器； [0012] 图2示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘图1的低温恒温器的支撑杆的示例非限制性特写视图； [0013] 图3示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘图2的支撑杆的另一个示例非限制性特写视图； [0014] 图4示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘将图2的支撑杆耦合到相邻热级之中的一个热级的附接机构的示例非限制性特写视图； [0015] 图5示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘将图2的支撑杆耦合到相邻热级之中的另一个热级的另一个附接机构的示例非限制性特写视图； [0016] 图6示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘将图2的支撑杆与另一个热级热隔离的垫圈的示例非限制性特写视图； [0017] 图7示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘图2的支撑杆的基座区段的示例非限制性等距视图； [0018] 图8示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘图7的基座区段的示例非限制性正交视图； [0019] 图9示出了根据本文描述的一个或多个实施例的图7的基座区段的示例非限制性侧截面视图； [0020] 图10示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘图2的支撑杆的柄部区段的示例非限制性等距视图； [0021] 图11示出了根据本文描述的一个或多个实施例的图10的柄部区段的示例非限制性侧截面图； [0022] 图12示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘图10的柄部区段的示例非限制性正交视图； [0023] 图13示出了根据本文描述的一个或多个实施例的沿图12的线A‑A截取的图10的柄部区段的示例非限制性截面图； [0024] 图14示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘另一个柄部区段的示例非限制性等距视图； [0025] 图15示出了根据本文描述的一个或多个实施例的图14的柄部区段的示例非限制性侧截面图； [0026] 图16示出了根据本文描述的一个或多个实施例的沿图15的线A‑A截取的图14的柄部区段的示例非限制性截面图； [0027] 图17示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘基座‑级垫圈的示例非限制性等距视图； [0028] 图18示出了根据本文所述一个或多个实施例的描绘图17的基座‑级垫圈的示例非限制性正交视图； [0029] 图19示出了根据本文描述的一个或多个实施例的图17的基座‑级垫圈的示例非限制性侧视图； [0030] 图20示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘柄部垫圈的示例非限制性等距视图； [0031] 图21示出了根据本文所述一个或多个实施例的描绘图20的柄部垫圈的示例非限制性正交视图； [0032] 图22示出了根据本文描述的一个或多个实施例的图20的柄部垫圈的示例非限制性侧视图； [0033] 图23示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘基座‑附接垫圈的示例非限制性等距视图； [0034] 图24示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘图23的基座‑附接垫圈的示例非限制性正交视图； [0035] 图25示出了根据本文描述的一个或多个实施例的图23的基座‑附接垫圈的示例非限制性侧视图； [0036] 图26示出了根据本文描述的一个或多个实施例的在低温恒温器的热级中形成的凹部的示例非限制性正交视图； [0037] 图27示出了根据本文描述的一个或多个实施例的图26的凹部的示例非限制性侧视图。 具体实施方式 [0038] 以下详细说明仅是说明性的并且不旨在限制实施例和/或实施例的应用或使用。 此外，不打算被在先前背景或概述部分或具体实施方式部分中呈现的任何明确或隐含的信息约束。 [0039] 现在参考附图描述一个或多个实施例，其中相同的附图标记在全文中用于指代相同的元件。在以下描述中，出于解释的目的，阐述了许多具体细节以便提供对一个或多个实施例的更透彻理解。然而，明显的是，在各种情况下，可以在没有这些具体细节的情况下实践一个或多个实施例。 [0040] 图1示出了根据本文描述的一个或多个实施例的示例非限制性低温恒温器100。如图1所示，低温恒温器100包括由介于顶板114和底板116之间的侧壁112形成的外部真空室 110。在运行中，外部真空室110能够在外部真空室110的周围环境120与外部真空室110的内部130之间维持压差。低温恒温器100还可以包括设置在内部130之内的多个热级(或级) 140，其各自机械地耦合到顶板114。多个级140包括：级141、级143、级145、级147和级149。 [0041] 多个级140之中的每个级可与不同的温度相关联。例如，级141可以是与50开尔文(K)的温度相关联的50‑开尔文(50‑K)级，级143可以是与4K的温度相关联的4‑开尔文(4‑K)级，级145可以与700毫开尔文(mK)的温度相关联，级147可以与100mK的温度相关联，以及级 149可以与10mK的温度相关联。在一个实施例中，级145可以是静止级，级147可以是冷板级，以及级149可以是混合室级。 [0042] 一个或多个支撑杆(例如，支撑杆142)可将多个级140耦合到外部真空室110的顶板114。此外，多个级140之中的每个级可通过多个支撑杆(例如，支撑杆144)与多个级140之中的其它级在空间上隔离。一些支撑杆可以包括多个区段。例如，支撑杆150包括区段152、 154、156和158。支撑杆150的区段152将级141耦合到外部真空腔室110的顶板114，区段154将级141耦合到级143，区段156将级143耦合到级145，以及区段158将级145耦合到级147。在一个实施例中，支撑杆142、144和/或150可包括不锈钢。在一个实施例中，支撑杆150可以将在级141、143、145和/或147上附带的机械负载的至少一个子集传递到外部真空腔室110的顶板114。例如，区段158可以经由区段156、154和152将在级147上附带的机械负载的至少一个子集传递到顶板114。通过将在级141、143、145和/或147上附带的机械负载的至少一个子集传递到外部真空腔室110的顶板114，支撑杆150能够促进管理低温恒温器100内的重量/负载分布。作用于多个级140的质量上的重力可在将多个级140耦合到顶板114的支撑杆(例如，支撑杆142)上或在空间上隔离这些级140的支撑杆(例如，支撑杆144和/或150)上引起张力。这种支撑杆可以被称为张力支撑杆。 [0043] 如图1所示，低温恒温器100还可以包括被耦合到外部真空腔室110的底板116的一个或多个板。例如，低温恒温器100还可以包括热板(或板)160，其可以促进机械地支撑与级 141相关联的热屏蔽件。作为另一个示例，低温恒温器100还可以包括板170，其可以促进机械地支撑与级143相关联的热屏蔽件。一个或多个支撑杆(例如支撑杆162)可以将板160和/或170耦合到外部真空腔室110的底板116。此外，板160和170可通过多个支撑杆(例如支撑杆164)在空间上被隔离。 [0044] 如上所述，一些支撑杆可以包括多个区段。例如，支撑杆180包括区段182和184。支撑杆180的区段182将板160耦合到外部真空腔室110的底板116，区段184将板160耦合到板 170。在一个实施例中，支撑杆162、164和/或180可包括不锈钢。在一个实施例中，支撑杆180可将在板160和/或170上附带的机械负载的至少一个子集传递到外部真空腔室110的底板 116。例如，区段182可以经由区段184将在板170上附带的机械负载的至少一个子集传递到底板116。通过将在板160和/或170上附带的机械负载的至少一个子集传递到外部真空腔室 110的底板116，支撑杆180能够促进管理低温恒温器100内的重量/负载分布。 [0045] 作用在板160和/或170的质量上的重力可在将板160和/或170耦合到底板116的支撑杆(例如，支撑杆162)上或在空间上隔离这些板的支撑杆(例如，支撑杆164和/或180)上引起压缩力。这种支撑杆可以被称为压缩支撑杆。 [0046] 如下文更详细地论述的，可以使用包括具有低热导率的材料(例如，具有小于1瓦特每米‑开尔文(W/mK)的热导率的材料)的垫圈来断开低温恒温器100的级之间的热传导路径。特别地，包括低热导率材料(例如，聚酰亚胺，诸如均可从特拉华州威尔明顿(Wilmington)的DuPont de Nemours公司获得的KAPTON或VESPEL)的垫圈可介于支撑杆与级之间，以断开低温恒温器100的级之间的热传导路径。在一个实施例中，通过将支撑杆热耦合到三个级或更多级内的至少一个中间级，可以将沿着耦合三个级或更多级的支撑杆的热梯度最小化。例如，支撑杆150将级141、143、145和147耦合到外部真空腔室110的顶板 114。在该示例中，支撑杆150的区段154和/或156可以被热耦合到级143和/或145。 [0047] 图2‑5示出了根据本文描述的一个或多个实施例的描绘图1的低温恒温器100的支撑杆142的示例非限制性特写视图。参考图2‑3，支撑杆142包括多个区段，这些区段包括基座区段230和柄部区段240。下面将参考图7‑9更详细地描述基座区段230，以及下面将参考图10‑13更详细地描述柄部区段240。顶板114可以经由基座区段230的间隙孔(例如，图7‑8的间隙孔712)容纳多个附接机构260，这些间隙孔同轴地围绕基座区段230的纵向轴线(例如，图8‑9的纵向轴线810)，以耦合顶板114和基座区段230。 [0048] 如图3‑4中最佳地示出，基座‑级垫圈310可以介于顶板114的内侧214与基座区段 230之间，以促进将顶板114和基座区段230热隔离。下面将参考图17‑19更详细地描述基座‑级垫圈310。图3‑4还示出了基座‑附接垫圈320可以介于每个附接机构260与基座区段230之间，以促进将顶板114和基座区段230热隔离。下面将参考图23‑25更详细地描述基座‑附接垫圈320。 [0049] 基座区段230的内螺纹壁(例如，图7‑9的内螺纹壁740)可容纳柄部区段240的螺纹轴242，以耦合基座区段230和柄部区段240。在一个实施例中，柄部区段240的内螺纹壁可以容纳基座区段230的螺纹轴以耦合基座区段230和柄部区段240。基座区段230的间隙孔(例如图7的间隙孔750)可以容纳附接机构340以促进将柄部区段240的螺纹轴242保持在基座区段230内。在一个实施例中，可以省略附接机构340。在一个实施例中，聚酰亚胺套筒(未示出)可以介于附接机构250的螺纹轴与柄部区段240的螺纹内壁之间。聚酰亚胺套筒能够通过确保附接机构250保持在柄部区段240的螺纹内壁的中心位置，促进维持支撑杆142与级 141之间的耦合的完整性。 [0050] 柄部区段240的螺纹内壁(例如，图10‑13的螺纹内壁1012)可经由级141容纳附连机构250的螺纹轴(未示出)，以将柄部区段240耦合到级141。如图6中最佳所示，柄部垫圈 330可以介于级141的面向顶板114的内侧214的侧面241与柄部区段240之间，以促进将级 141与柄部区段240热隔离。下面将参考图17‑19更详细地描述柄部垫圈330。如图3和5中最佳所示，柄部垫圈330也可介于级141的与侧面241相对的侧面243和附接机构250之间，以促进将级141与附接机构250热隔离。在一个实施例中，将柄部垫圈330放置在级141的相对侧上能够促进减少级141的相对侧之间的热传导路径。 [0051] 图6示出了介于级141的面向顶板114的内侧214的侧面241与柄部区段240之间的柄部垫圈330可以被容纳在形成于级141中的凹部610内。凹部610减小了级141在凹部610的占用面积内的厚度。下面将参考图26‑27更详细地讨论在级中形成的凹部和凹部的占用面积。凹部610可以包括由级141的表面区域提供的占用面积，该表面区域包括减小的厚度以形成凹部610。柄部垫圈330还可包括由柄部垫圈330的包围在柄部垫圈330的外壁(例如，图 21的外壁2110)内的表面区域提供的占用面积。图6还示出了凹部610的占用面积可以大于介于级141的侧面241与柄部区段240之间的柄部垫圈330的占用面积。 [0052] 参考图3和图5，介于级141的侧面243与附接机构250之间的柄部垫圈330可被容纳在形成于级141中的凹部373内。凹部373减小了级141在凹部373的占用面积内的厚度。凹部 373可包括由级141的表面区域提供的占用面积，该表面区域包括减小的厚度以形成凹部 373。柄部垫圈330还可包括由柄部垫圈330的包围在柄部垫圈330的外壁(例如，图21的外壁 2110)内的表面区域提供的占用面积。图3和5还示出了凹部373的占用面积可以大于介于级 141的侧面243与附接机构250之间的柄部垫圈330的占用面积。 [0053] 本领域技术人员将认识到，由于热膨胀/收缩，级141的几何形状可以随着级141的温度改变而改变。将每个柄部垫圈330容纳在级141的具有比柄部垫圈330大的占用面积的凹部内能够促进在级141的几何形状由于热膨胀/收缩而改变时保持支撑杆142的结构完整性。例如，凹部610的较大占用面积能够促进支撑杆142响应于级141的几何形状的这种改变而在凹部610内移动，以减轻支撑杆142的结构失效。作为另一个示例，凹部373的较大占用面积也能够促进支撑杆142响应于级141的几何形状的这种改变而在凹部610内移动，以减轻支撑杆142的结构失效。 [0054] 图7‑9示出了根据本文描述的一个或多个实施例的基座区段230的示例非限制性视图。特别地，图7‑9分别示出了基座区段230的等距视图700、正交视图800和截面视图900。 参考图7‑9，基座区段230可包括基板710和与基板710相对的锥形端720。基座区段230还可包括沿基座区段230的纵向轴线810延伸的通道730。通道730可以由基座区段230的螺纹内壁740限定。基板710包括同轴地围绕纵向轴线810的多个间隙孔712。外部真空室的板(例如，图1的顶板114和/或底板116)、低温恒温器的级(例如，级141‑149)或低温恒温器的板(例如，板160和170)可经由每个间隙孔712容纳附接机构(例如，图2‑4的附接机构260)，以将基座区段230耦合到该板和/或级。锥形端720可包括间隙孔750，其能够促进将柄部区段的螺纹轴(例如，螺纹轴242和/或1420)保持在基座区段230内。 [0055] 图10‑13示出了根据本文描述的一个或多个实施例的柄部区段240的示例非限制性视图。特别地，图10‑12分别示出了柄部区段240的等距视图1000、截面视图1100和正交视图1200。图13示出了沿图12的线A‑A截取的柄部区段240的截面视图1300。参考图10‑13，柄部区段240可包括主体1010和沿柄部区段240的中心线1110设置的螺纹轴242。主体1010可包括沿柄部区段240的中心线1110延伸的通道1040。通道1040可由柄部区段240的螺纹内壁 1012限定。柄部区段240的螺纹内壁1012可经由外部真空室的板(例如，图1的顶板114和/或底板116)、低温恒温器的级(例如，级141‑149)或低温恒温器的板(例如，板160和170)容纳附接机构(例如，附接机构250)的螺纹轴，以将柄部区段240联接到该板和/或级。基座区段的内螺纹壁(例如，内螺纹壁740)可以容纳柄部区段240的螺纹轴242以将柄部区段240联接到基座区段。主体1010还可以包括工具接口部1030，以促进安装和/或移除柄部区段240。 [0056] 图14‑16示出了根据本文描述的一个或多个实施例的柄部区段1405的示例非限制性视图。特别地，图14‑15分别示出了柄部区段1405的等距视图1400和侧截面视图1500。图 16示出了沿图15的线A‑A截取的柄部区段1405的截面视图1600。参考图14‑16，柄部区段 1405可包括主体1410和沿柄部区段1405的中心线1510设置的螺纹轴1420。主体1410可包括沿着柄部区段1405的中心线1510延伸的通道1440。通道1440可由柄部区段1405的螺纹内壁 1412限定。柄部区段1405的螺纹内壁1412可以经由外部真空室的板(例如，图1的顶板114和/或底板116)、低温恒温器的级(例如，级141‑149)或者低温恒温器的板(例如，板160和 170)容纳附接机构(例如，附接机构250)的螺纹轴，以将柄部区段1405联接到该板和/或级。 基座区段的内螺纹壁(例如，内螺纹壁740)可容纳柄部区段1405的螺纹轴1420，以将柄部区段1405联接到基座区段。主体1410还可包括工具接口部1430，以促进安装和/或移除柄部区段1405。 [0057] 柄部区段240和1405之间的比较说明了可对柄部区段做出多种改变以适应不同的低温恒温器构造(例如相邻级之间的间距)。例如，柄部区段240包括比柄部区段1405的长度(由主体1410的长度1414和螺纹轴1420的长度1424限定)小的长度(由主体1010的长度1014和螺纹轴242的长度1024限定)。在该示例中，柄部区段240可促进联接低温恒温器的相对紧密地间隔的相邻级和/或板，而柄部区段1405可促进联接低温恒温器的相对远地间隔的相邻级和/或板。作为另一个示例，柄部区段1405包括主体1410的长度1414与螺纹轴1420的长度1424之间的比率，该比率大于柄部区段240的可比比率。这个区别说明对于柄部区段，主体的长度与螺纹轴的长度之间的比率可以改变以适应不同的承载要求。 [0058] 作为另一个示例，通道1040在柄部区段240的主体1010内延伸将通道1040置于工具接口部1030之内的长度1120。相比之下，通道1440在柄部区段1405的主体1410内延伸将通道1440置于工具接口部1430之外的长度1520。图13和16之间的比较显示，柄部区段1405的工具接口部1430保持实心，而构成柄部区段240的主体1010的一些材料已经在工具接口部1030内被去除。这样，可以对柄部区段1405的工具接口部1430施加比可以对柄部区段240的工具接口部1030施加的扭矩量更大的扭矩量。这个区别说明了通道在柄部区段内的长度可以被改变以适应不同的扭矩要求。 [0059] 图17‑19示出了根据本文描述的一个或多个实施例的基座‑级垫圈310的示例非限制性视图。特别地，图17‑19分别示出了基座‑级垫圈310的等距视图1700、正交视图1800和侧视图1900。参考图17‑19，基座‑级垫圈310可包括多个开口1710，每个开口与基板的相应间隙孔(例如间隙孔710)对准。在一个实施例中，基座‑级垫圈310可包括具有低热导率的材料(例如，具有小于1瓦特每米‑开尔文(W/mK)的热导率的材料)。在一个实施例中，基座‑级垫圈310可以包括聚酰亚胺(例如，KAPTON或VESPEL)。 [0060] 图20‑22示出了根据本文描述的一个或多个实施例的柄部垫圈330的示例非限制性视图。特别地，图20‑22分别示出了柄部垫圈330的等距视图2000、正交视图2100和侧视图 2200。参考图20‑22，柄部垫圈330可包括外壁2110和内壁2120，它们各自围绕柄部垫圈330的中心线2140。外壁2110可以包围提供柄部垫圈330的占用面积的表面区域。内壁2120可限定具有直径2130的开口，该开口可容纳附接机构(例如，附接机构250)的螺纹轴，该附接机构促进将支撑杆的柄部区段联接到低温恒温器的级和/或板。在一个实施例中，柄部垫圈 330可包括具有低热导率的材料(例如，热导率小于1瓦特每米‑开尔文(W/mK)的材料)。在一个实施例中，柄部垫圈330可包括聚酰亚胺(例如，KAPTON或VESPEL)。 [0061] 图23‑25示出了根据本文描述的一个或多个实施例的基座‑附接垫圈320的示例非限制性视图。特别地，图23‑25分别示出了基座‑附接垫圈320的等距视图2300、正交视图 2400和侧视图2500。参考图23‑25，基座‑附接垫圈320可以包括外壁2410和内壁2420，它们各自围绕基座‑附接垫圈320的中心线2440。外壁2410可以包围提供基座‑附接垫圈320的占用面积的表面区域。内壁2420可以限定具有直径2430的开口，该开口可以容纳附接机构(例如，附接机构260)的螺纹轴，该附接机构促进将支撑杆的基座区段联接到低温恒温器的级和/或板。在一个实施例中，基座‑附接垫圈320可包括具有低热导率的材料(例如，具有小于 1瓦特每米‑开尔文(W/mK)的热导率的材料)。在一个实施例中，基座‑附接垫圈320可包括聚酰亚胺(例如，KAPTON或VESPEL)。 [0062] 图26‑27示出了根据本文描述的一个或多个实施例的形成于低温恒温器的级2605(或板)中的凹部2640的示例非限制性视图。特别地，图26‑27分别示出了形成于级2605中的凹部2640的等距视图2600和侧视图2700。参考图26‑27，级2605可以包括围绕级2605的中心线2650的外壁2620。如图26‑27所示，可以在级2605中形成凹部2640，凹部2640减小了级 2605在凹部2640的占用面积2630内的厚度。例如，级2605可以包括在凹部2640外部的表面区域2610中的厚度2625，厚度2625大于级2605在凹部2640之内的厚度2645。 [0063] 本发明的实施例可以是处于任何可能的技术细节集成水平的系统、方法、装置。以上描述的内容仅包括系统、方法和装置的示例。当然，不可能为了描述本公开的目的而描述组件或计算机实现的方法的每个可构想的组合，但是本领域普通技术人员可以认识到，本公开的许多其他组合和排列是可能的。此外，就在具体实施方式、权利要求、附件以及附图中使用术语“包括”、“具有”、“拥有”等而言，这些术语旨在是包括性的，其方式类似于术语“包括”在权利要求中被用作过渡词时所解释的。 [0064] 此外，术语“或”旨在意指包括性的“或”而不是排他性的“或”。也就是说，除非另外指明，或从上下文清楚，“X采用A或B”旨在意指任何自然的包含性排列。即，如果X采用A；X采用B；或X采用A和B两者，则在任何前述情况下满足“X采用A或B”。此外，如主题说明书和附图中所使用的冠词“一个(a)”和“一种(an)”通常应被解释为意指“一个或多个”，除非另外说明或从上下文清楚指向单数形式。如本文所使用的，术语“示例和/或“示例性”用于表示用作示例、实例或例证。为了避免疑问，在此公开的主题不受此类示例的限制。此外，本文中描述为“示例”和/或“示例性”的任何方面或设计不一定被解释为优选或优于其他方面或设计，也不意味着排除本领域普通技术人员已知的等效的示例性结构和技术。 [0065] 已经出于说明的目的呈现了不同实施例的描述，但其不旨在是穷举的或限于所公开的实施例。在不脱离所描述的实施例的范围和精神的情况下，许多修改和变化对本领域普通技术人员将是显而易见的。本文使用的术语被选择为最好地解释实施例的原理、实际应用或对在市场中找到的技术的技术改进，或者使得本领域普通技术人员能够理解本文公开的实施例。 [0066] 虽然已经描述了特定示例实施例，但是这些实施例仅以示例的方式呈现，并且不旨在限制本公开的范围。因此，前述说明中的任何内容都不是要暗示任何特定的特征、特性、步骤、模块或块是必需的或不可缺少的。实际上，本文描述的新颖方法和系统可以以各种其它形式体现；此外，在不脱离本公开的精神的情况下，可以对本文描述的方法和系统的形式进行各种省略、替换和改变。所附权利要求及其等同物旨在覆盖落入本发明的特定公开的范围和精神内的这些形式或修改。