[0001] 本发明涉及使玻璃基板或金属制基板、树脂制薄膜、立体物等干燥对象物的被干燥面干燥的干燥装置。

[0002] 在专利文献1中公开了具有超声波产生装置的干燥系统。例如，在专利文献1的段落【0009】中记载了如下内容：“超声波产生装置7以最高效率对混合于被通常加热后的空气中的干燥对象物5进行照射。在超声波产生装置7的细孔7a中，诱导加热后的空气10，在间隔壁11进行混合并暂时返回而从出口8吹出。超声波优选具有18000赫兹以上的频率，这有助于缩短干燥时间”。

[0003] 专利文献1：日本特开平7-91827号公报

[0004] 专利文献1所记载的干燥系统以具有超声波产生装置7为前提，采用使超声波从外部与在流路中流动的空气混合的结构。而且，采用从形成于喷嘴3的前端的出口8吹出空气的结构。因此，吹出空气的面积较窄，为了使对象物的被干燥面整体干燥，必须使对象物二维地移动，因而花费工夫。

[0023] 以下，沿着附图对本发明的实施方式进行说明。首先，图1是示出具有本发明的实施方式的干燥装置500的干燥系统1000的概略结构的结构图。另外，图2～图4是示出本发明的实施方式的干燥装置500的图，图2的(a)是下罩的俯视图，图2的(b)是整体的主视图，图3是图2的(b)的A-A放大剖视图，图4是图3的局部放大剖视图。

[0024] 如图1所示，干燥系统1000具有风机600、HEPA过滤器700、加热器单元800以及气体分离单元。风机600向干燥装置500提供空气(气体)。HEPA过滤器700从由风机600提供的空气中去除尘埃。由风机600和HEPA过滤器700构成气体提供源。另外，加热器单元800有可能产生尘埃，在对干燥空气要求清洁度的情况下，也可以在加热器单元800与干燥装置500之间配置HEPA过滤器700。

[0025] 加热器单元800对从风机600提供的空气进行加热。另外，在加热器单元800中附设有温度控制器801，构成为能够对空气的温度进行调整。以下，根据图2～图4对干燥装置500进行说明。气体分离单元900不仅从由干燥装置500废弃的空气中去除水分，还将挥发成分和有害物质以及干燥的同时聚集的微粒等分离而去除。

[0026] 即，干燥系统1000构成为在能够将吸引的空气过滤至能够进行通常排气的水平的同时，能够进行吸引的气体是有害的的情况下的处理、回收的微粒高价的情况下的再利用。

[0027] 在图2的(a)、(b)中，110是角筒状的下罩、210是安装于下罩110的上端部的上罩，该下罩110和该上罩210能够通过在图2的(b)的箭头X方向上相对滑动而连结。另外，关于用于使两个罩110、210进行滑动的构造在后面说明。另外，在使下罩110和上罩210连结为一体的状态下，端部罩310、320安装于长度方向的两端部而被固定。

[0028] 在下罩110的内部，在该下罩110的长度方向的大致全长范围内配置有后述的图3所示的内部风管150，在图2的(b)的端部罩310的外侧安装有与内部风管150连通的供气风管100。另外，在供气风管100的上方安装有与形成在上罩210的内部的空气积存部220连通的排气风管200。

[0029] 供气风管100和排气风管200与由图1所示的风机600和HEPA过滤器700构成的气体提供源连接，从供气风管100向内部风管150提供空气，干燥后的空气经由空气积存部220从排气风管200排出。

[0030] 另外，如图2的(a)所示，在下罩110的顶板120上分别设置有距供气风管100和排气风管200的距离越远则开口面积越大(沿下罩110的长度方向的长度越长)的各一对的排气口121、122、123、124。另外，这些排气口的数量和形状不受图示例的任何限定。

[0031] 接下来，根据图3和图4对干燥装置500的内部构造进行详细说明。如图3和图4所示，干燥装置500与干燥对象物G的一个表面、即被干燥面G1对置地配置，使被干燥面G1干燥。

[0032] 干燥装置500具有气体喷出头部501。气体喷出头部501与被干燥面G1对置地配置，具有朝向被干燥面G1喷出从气体提供源提供的气体的喷出口156。喷出口156与被干燥面G1之间的间隙例如为4mm以下。另外，气体喷出头部501具有隔板153，该隔板153设置在从气体提供源提供的气体的至喷出口156的流路155内，遮挡流路155内的气体的流动。另外，喷出口156与被干燥面G1之间的间隙优选为4mm以下，但不限定于此，也可以比4mm大。

[0033] 在隔板153上形成有节流孔153a。节流孔153a的开口最大宽度被设计为比喷出口156的开口最大宽度小。由此，被隔板153的节流孔153a节流后的空气的流动一边朝向喷出口156扩展一边前进，通过对该空气的流动进行节流和扩展，使空气处于超声波振动状态。
另外，节流孔153a与喷出口156之间的流路的宽度可以是恒定的，也可以是变化的。另外，也可以在流路155内设置多个形成有节流孔153a的隔板153。

[0034] 另外，隔板153的节流孔153a的面与喷出口156的面平行。因此，在气体喷出头部501中，隔板153的节流孔153a的面与喷出口156的面平行，因此不必采用复杂的构造，能够使气体喷出头部501的构造更加简单。

[0035] 另外，干燥装置500具有分别与吸引机构结合的第1吸气头部502a和第2吸气头部502b。第1吸气头部502a和第2吸气头部502b在剖视的状态下设置为以与气体喷出头部501相邻、即夹着气体喷出头部501的方式与被干燥面G1对置地配置。

[0036] 第1吸气头部502a具有第1吸引孔154a，该第1吸引孔154a配置为与气体喷出头部501的喷出口156相邻。第1吸引孔154a形成在内部风管150的底板154上。具体而言，第1吸气头部502a具有第1吸引孔154a，该第1吸引孔154a向朝向从气体喷出头部501的喷出口156喷出的气体的方向倾斜。第1吸引孔154a可以形成为沿底板154的长度方向开口的缝状，也可以使截面形状形成为圆形或椭圆形状。

[0037] 第2吸气头部502b具有第2吸引孔154b，该第2吸引孔154b配置为与气体喷出头部501的喷出口156相邻。第2吸引孔154b形成在内部风管150的底板154上。具体而言，第2吸气头部502b具有第2吸引孔154b，该第2吸引孔154b向朝向从气体喷出头部501的喷出口156喷出的气体的方向倾斜，并且该第2吸引孔的倾斜方向与第1吸引孔的倾斜方向相反。第2吸引孔154b可以形成为沿底板154的长度方向开口的缝状，也可以使截面形状形成为圆形或椭圆形状。

[0038] 具体而言，如图3和图4所示，第1吸引孔154a和第2吸引孔154b在剖视的状态下形成为相对于干燥装置500的中心线朝向纸面上侧向相互分离的方向倾斜。即，第1吸引孔154a和第2吸引孔154b具有作为对从喷出口156喷出的空气进行引导的引导部的功能，支持向空气吸引室180的导入。

[0039] 如上所述，在配置于内部风管150的下方中央部的隔板153上形成有节流孔153a，并且在内部风管150的底板154上形成有第1吸引孔154a和第2吸引孔154b，该第1吸引孔154a和第2吸引孔154b位于喷出口156的两侧，因此超声波振动状态的空气利用吸引机构的吸气作用分别通过第1吸引孔154a和第2吸引孔154b而被吸引，其中，该超声波振动状态的空气在流路155中直线地流动，从喷出口156喷出，对被干燥面G1进行干燥。即，通过节流孔
153a能够使空气乱流化，从而能够通过第1吸引孔154a和第2吸引孔154b更高效地对空气进行吸引，因此能够更高效地使被干燥面G1的与气体喷出头部501的喷出口156对置的部分干燥。另外，第1吸气头部502b和第2吸气头部502b不是干燥装置500所必须的结构，另外也可以仅将任意一个吸气头部作为干燥装置500的结构。

[0040] 另外，如图3所示，下罩110和上罩210通过滑动引导部161，能够在纸面的正反方向上相对滑动，其中，该滑动引导部161由分别形成于下罩110的上端部两侧和上罩210的下端部两侧的凹凸构造构成。另外，配置于下罩110的内部的内部风管150也通过由上述相同的凹凸构造构成的滑动引导部162，能够相对于下罩110相对滑动。

[0041] 内部风管150的内部空间形成空气喷射室170，该空气喷射室170与供气风管100连通。另外，由下罩110的内表面和内部风管150的外表面形成的空间作为空气吸引室180而经由所述排气口121与上罩210的空气积存部220连通，进而与排气风管200连通。

[0042] 另外，在下罩110的侧板130的内表面的适当的位置形成有多个用于增大空气阻力的突起131，在内部风管150的内外表面的适当的位置也形成有突起151、152。这些突起的数量和形状不受图示例的任何限定。

[0043] 接下来，对该实施方式的动作进行说明。通过使内部风管150、下罩110以及上罩210相互滑动而进行连结，并且安装端部罩310、320，进而安装供气风管100和排气风管200，从而像图2的(b)和图3所示的那样组装整个干燥装置。

[0044] 在该状态下，从外部的气体提供源向供气风管100提供的空气从内部风管150内的空气喷射室170经由节流孔153a向干燥对象物G的表面、即被干燥面G1喷出。如图4所示，在从空气喷射室170至喷出口156的流路155中流动的空气经由节流孔153a直线地朝向被干燥面G1喷出。然后，利用空气对干燥对象物G的表面进行干燥。该空气经由第1吸引孔154a和第2吸引孔154b以空气吸引室180→排气口121→空气积存部220→排气风管200的路径进行吸引和排气。

[0045] 在上述的一系列的供气-排气工序中，空气通过空气喷射室170的狭窄的下端部而成为高压空气，从节流孔153a向干燥对象物G方向喷出，使干燥对象物G的表面干燥。空气按照空气喷射室170→节流孔153a→喷出口156的顺序通过(箭头A1)，朝向干燥对象物G的被干燥面G1喷出。此时，空气经由通路宽度不同的部分从而产生振动。即，空气能够通过节流孔153a的前、中、后的节流和扩展而乱流化从而产生超声波振动。因此，能够向干燥对象物G的被干燥面G1吹出超声波振动状态的空气。

[0046] 通过该超声波振动状态的空气对干燥对象物G的被干燥面G1进行干燥。通过使空气进行超声波振动而促进水分的挥发，从而能够均匀且短时间内使干燥对象物G干燥。因此，根据干燥装置500，不必设置超声波振子等(压电元件等)超声波产生装置，另外，也不需要使空气反转的结构，而能够使气体进行超声波振动，从而能够更有效地进行干燥对象物G的干燥。另外，在存在于干燥对象物G的被干燥面G1的水分中，不仅包含水，有时也包含药品等包含挥发成分的材料。

[0047] 此外，利用向内部风管150的内表面突出的突起152使空气阻力发生强弱变化，因此能够进一步向从喷出口156喷出的空气赋予振动，从而能够更有效地进行干燥对象物G的表面、即被干燥面的干燥。

[0048] 另外，空气经由第1吸引孔154a和第2吸引孔154b被吸引到空气吸引室180(箭头A2)，但此时，利用向下罩110的内表面和内部风管150的外表面突出的突起131、151、152使空气阻力发生强弱变化，因此在这些突起附近，通过空气吸引室180的空气的负压局部变大，从而能够进一步强力地对来自第1吸引孔154a和第2吸引孔154b的空气进行吸引。

[0049] 并且，在使超声波振动状态的气体从喷出口156向干燥对象物G的被干燥面G1喷出的状态下，分别通过第1吸气头部502a和第2吸气头部502b的第1吸引孔154a和第2吸引孔154b，能够更高效地对从喷出口156喷出的气体进行吸引。其结果为，能够更有效地使被干燥面G1的与气体喷出头部501的喷出口156对置的部分干燥。

[0050] 并且，形成于下罩110的顶板120的排气口121、122、123、124距排气风管200的距离越远(越接近端部罩320)则开口面积越大，因此能够使空气的吸引压较高的端部罩310侧的空气流量与空气的吸引压较低的端部罩320侧的空气流量大致相等，从而能够在干燥装置的长度方向的全长范围内，使被向上罩210的空气积存部220吸引的空气流量大致均匀。由此，得到了在干燥装置的长度方向的全长范围内大致均匀的吸引力，能够对干燥对象物G的表面整个区域均匀地进行干燥。

[0051] 另外，由上罩210形成的大容量的空气积存部220具有将从各排气口121、122、123、124单独吸入的吸引空气一并向排气风管200方向输送的功能，该空气积存部220也有助于顺畅地对空气进行吸引。另外，可以构成为使干燥装置500能够相对于干燥对象物G移动，也可以构成为使干燥对象物G相对于干燥装置500移动。

[0052] 根据该实施方式，不必采用复杂的结构，也能够使从喷出口156喷出的气体成为乱流，因此能够减少部件的种类和数量，能够实现制造成本的降低，并且能够使喷出的气体进行超声波振动，从而使被干燥面更快地干燥。

[0053] 另外，在上述的干燥装置1000中，向干燥对象物G吹出超声波振动状态的空气，但也可以将其他气体例如氮气等以超声波振动状态吹到干燥对象物G的被干燥面G1。

[0054] 另外，上述的干燥装置1000不仅能够应用于玻璃基板、金属制基板、半导体基板以及液晶基板等平面状的部件的被干燥面G1的干燥，也能够应用于将树脂膜等膜状的部件、球面状的部件等其他形状的部件作为干燥对象物G而对它们的被干燥面G1进行干燥。

[0055] 另外，本发明不限于上述的实施方式、各种实施例、以及它们的变形例和应用例。能够根据本发明的主旨进行各种变形，在本发明的范围中不排除这些变形。